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什么是气相沉积炉?

2022-10-11 08:27:01

气相沉积炉是很多人都听说过的一个设备,但是可能大家并不了解气相沉积炉究竟是什么,那么下面就和华亚气相沉积炉厂家一起来看一下吧。

气相沉积炉是利用了加热离子体激励或光辐射等方法,让气态的或者蒸汽状态的化学物质发生反应,并以原子态沉积在适当的位置的衬底上。从而形成了所需要的固态薄膜或是涂层的过程。

什么是气相沉积炉?

cvd化学气相沉积设备的作用是在高温下气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。

气相沉积炉的特征在于:高熔点物质能够在低温下合成;析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层等。在低温下可以合成高熔点物质。


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高温碳化炉

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